威卡WUD-2x系列高純傳感器將先進(jìn)的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合， 能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供安全、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。基于真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量，以及干擾屏蔽和信號(hào)噪聲消除的電子措施，確保了高準(zhǔn)確度的壓力測(cè)量和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。主動(dòng)溫度補(bǔ)償功能減少了溫度變化對(duì)傳感器的影響，即使在溫度波動(dòng)較大的應(yīng)用中（如氣體膨脹情況下的焦耳-湯姆遜效應(yīng)）或無(wú)空氣調(diào)節(jié)區(qū)域也能安全運(yùn)行。WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計(jì)，可承受安裝帶來(lái)的扭曲應(yīng)力。薄膜傳感器的特殊設(shè)計(jì)消除了由于過(guò)程連接或焊接接頭處的負(fù)載而導(dǎo)致的傳感器故障的風(fēng)險(xiǎn)。WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。配備2個(gè)可編程開(kāi)關(guān)輸出，可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。WUD-2x為緊湊型UHP傳感器， 夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合，甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。

威卡 半導(dǎo)體設(shè)備超高純氣體UHP壓力傳感器WUD-20

應(yīng)用

半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品

半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的超高純氣體供應(yīng)

功能特性

高準(zhǔn)確度壓力測(cè)量0.15 % RSS

出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

信號(hào)降噪和屏蔽

真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量

主動(dòng)溫度補(bǔ)償

威卡 半導(dǎo)體設(shè)備超高純氣體UHP壓力傳感器WUD-20